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    型號(hào):RT-RM-1
    射頻磁控濺射鍍膜裝置

    描述:射頻磁控濺射鍍膜裝置主要用途:本設(shè)備主要用于大專院校研究和開發(fā)納米級(jí)單層膜;如各種硬質(zhì)膜、金屬膜;也可以是非金屬、化合物等薄膜材料??梢赃M(jìn)行直接濺射,亦可以實(shí)現(xiàn)反應(yīng)濺射。

    • 廠商性質(zhì)

      其他
    • 更新時(shí)間

      2024-09-21
    • 訪問量

      925
    詳細(xì)介紹
    品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)
    應(yīng)用領(lǐng)域綜合

     射頻磁控濺射鍍膜裝置 型號(hào):RT-RM-1

     

    主要用途:本設(shè)備主要用于大專院校研究和開發(fā)納米級(jí)單層膜;如各種硬質(zhì)膜、金屬膜;也可以是非金屬、化合物等薄膜材料??梢赃M(jìn)行直接濺射,亦可以實(shí)現(xiàn)反應(yīng)濺射。

    射頻磁控濺射鍍膜裝置

    主要特點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡捷、操作簡便,真空度維護(hù)高,安全可靠。

     

    鍍膜機(jī)應(yīng)安裝在干凈無塵埃、無腐蝕性氣體的室內(nèi),并具備清潔水源、及220V的穩(wěn)定電壓等條件的地方。

    1、地面的基本水平度要經(jīng)過調(diào)整,不得高低不平;

    2、環(huán)境溫度:10℃~30℃;

    3、相對(duì)濕度:不大于75%;

    4、耗水量(進(jìn)水溫度≤25℃,2.5Kg≥水壓≥1.5Kg):約0.2T/h;

    5、水質(zhì)要求:

    矽酸硬度<6度,PH值:78,電導(dǎo)率:200us/cm,沉積率:<200mg/L。

    6、電壓: 220V,50HZ,

    電壓波動(dòng)范圍: 198231V;

    頻率波動(dòng)范圍:4951Hz;

    7、水壓:0.31Kg/cm20.030.1MPa/cm2;

    8、充入氣體純度99.9%或以上;

    9、鍍膜用耗材純度99.9%或以上。

     

    設(shè)備規(guī)格參數(shù)

    1.1、濺射處理室:

           1、鐘罩:內(nèi)徑225mm×高度260mm;

           2、試樣臺(tái):直徑80mm(大);

           3、試樣旋轉(zhuǎn):靜止;

           4、擋板:手動(dòng);

           5、襯底加熱器:不銹鋼加熱器(DC24V);

           6、襯底溫度范圍:室溫~200℃;

           7、襯底可調(diào)距離:20mm~60mm;

           8、濺射室限真空:0.5Pa

    1.2、真空系統(tǒng):

           1、抽氣系統(tǒng):由機(jī)械泵組成的一級(jí)真空系統(tǒng);抽氣速率:4升/S

           2、真空檢測(cè):電阻真空計(jì)、電阻規(guī);

           3、常用真空度:1~20Pa

           4、操作:手動(dòng)

    1.3、濺射電源:

    1、射頻電源:頻率13.560MHZ,功率:500W,用表指示;

    2、阻抗匹配器范圍:(2.7~45)Ω-j(0~70)Ω;

    3、供電:AC 220V;

    4、冷卻方式:風(fēng)冷;

      1.4、 磁控靶:

    1、靶材直徑:Ф50mm、 一個(gè)永磁靶;

    2、靶材厚度:3~6mm;

    1.5、進(jìn)氣系統(tǒng):2路轉(zhuǎn)子流量計(jì)進(jìn)氣,

    1.6、電源要求:AC 220V  50Hz  10A

    1.7、氣體要求:氬氣--純度99.9%(樣品有特殊要求時(shí)使用高純)

    1.8、冷卻要求:靶體水冷,濺射電源風(fēng)冷

    1.9、體積重量:體積:L550mm×W680mm×H1480mm;約120kg

     

     

    產(chǎn)品名稱:精密數(shù)顯直流穩(wěn)流穩(wěn)壓電源 直流穩(wěn)流穩(wěn)壓電源
    產(chǎn)品型號(hào):WY305/3010 

    精密數(shù)顯直流穩(wěn)流穩(wěn)壓電源 直流穩(wěn)流穩(wěn)壓電源 型號(hào):WY305/3010  
    產(chǎn)品簡介: 
    高穩(wěn)定度直流線性穩(wěn)流穩(wěn)壓型功率電源,并帶四位半數(shù)顯電流表、電壓表監(jiān)測(cè)電流、電壓,源表一體化。  

    技術(shù)特性: 
    1.輸出范圍:0-30V/0-15A 
    2.滿度時(shí)輸出電壓漂移:±0.01%讀數(shù)/3min  
    3.滿度時(shí)輸出電流漂移:±0.01%讀數(shù)/3min 
    4.電壓表量程:5V/10V/25V/35V 
    5.電流表量程:1.5A/3A/7.5A/15A(0.02%讀數(shù)+0.01%量程+1字)? 
    6.電壓電流表基本準(zhǔn)確度: 
    7.電壓表分辨力:0.0001V(0.0000V-10.000V); 0.001V(10.000V-30.000V) 
    8.電流表分辨力:0.0001A(0.0000A-10.000A),0.001A(10.000A-15.000A) 
     

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